在精密传动领域，不锈钢滚珠丝杠凭借优异的抗腐蚀性能成为潮湿、腐蚀性气体等恶劣工况下的首选。然而，单纯依赖材料本身的耐蚀性已无法满足高端装备对长寿命、高可靠性的需求，表面处理技术成为提升其防腐蚀能力的关键突破口。本文从技术原理、工艺类型及工程应用三个维度，解析不锈钢滚珠丝杠的表面处理技术体系。

在精密机械传动领域，导程误差与螺距误差是影响螺纹副传动精度的核心因素。以C3级精度滚珠丝杠为例，其300mm行程内的导程累积误差需控制在±0.021mm以内，而螺距误差的波动范围更需严格限制在微米级。本文将从误差来源、传播机制及抑制策略三方面，系统解析这两种几何误差的成因与解决方案。

在半导体制造的“皇冠明珠”——光刻机中，滚珠丝杠作为核心传动部件，其定位精度直接影响芯片制程的纳米级精度。以EUV光刻机为例，其工作台运动精度需控制在±1.5纳米以内，而滚珠丝杠的误差分配与控制技术，正是实现这一目标的关键支撑。